具有灵活的晶片温度控制的静电卡盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880022717.2

申请日：

2018-03-28

公开(公告)号：

CN110462812A

公开(公告)日：

2019-11-15

发明(设计)人：

亚历山大·马丘什金约翰·P·霍兰德马克·H·威尔科克森基思·科门丹特塔内尔·奥泽尔郝芳莉

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20180328
2019-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

具有径向温度控制能力的静电卡盘 [P].

罗伯特·J·斯蒂格 .

中国专利 :CN101283624A ,2008-10-08

[2]

静电卡盘、包括其的组件以及控制静电卡盘温度的方法 [P].

J.A.桑蒂兰 ;

H.高 ;

S.库塔思 ;

李昌敏 .

中国专利 :CN115547911A ,2022-12-30

[3]

静电卡盘的温度控制方法和温度控制系统 [P].

代怀志 .

中国专利 :CN113110644B ,2021-07-13

[4]

具有多区域控制的静电卡盘 [P].

陈嘉和 ;

连明惠 ;

吴淑芬 ;

李志聪 ;

周友华 .

中国专利 :CN103247563A ,2013-08-14

[5]

具有多区域控制的静电卡盘 [P].

陈嘉和 ;

连明惠 ;

吴淑芬 ;

李志聪 ;

周友华 .

中国专利 :CN109585354A ,2019-04-05

[6]

具有陶瓷单体的静电卡盘 [P].

王峰 ;

基思·加夫 ;

克里斯托弗·金博尔 ;

达雷尔·埃利希 .

中国专利 :CN113439330A ,2021-09-24

[7]

防止晶片破损的静电卡盘运动控制的方法 [P].

李俊国 ;

积田庸介 ;

安迪·德·凯·马 ;

安德鲁·恩博姆·蔡 .

美国专利 :CN119137729A ,2024-12-13

[8]

快速控制静电卡盘温度系统 [P].

刘利坚 .

中国专利 :CN1848403A ,2006-10-18

[9]

静电卡盘和具有用于冷却晶片的冷却路径的卡盘座 [P].

朴熙龙 ;

金珍泰 ;

李圭夏 ;

朴宽泰 ;

吴尚瑛 ;

张辉坤 .

中国专利 :CN1898782A ,2007-01-17

[10]

促进晶片刻蚀均匀的静电卡盘 [P].

孙亚林 .

中国专利 :CN100370593C ,2006-10-11

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