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气体流量控制方法及装置、电子设备和存储介质
被引：0
申请号：
CN202211262063.5
申请日：
2022-10-14
公开(公告)号：
CN115621164A
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
陈三城
邱世清
杨抗
申请人：
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
G16C2010
代理机构：
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：
刘莉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20221014 |
| 2023-01-17 | 公开 | 公开 |