扫描速度确定方法及装置、电子设备和存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211367281.5

申请日：

2022-11-02

公开(公告)号：

CN115792559B

公开(公告)日：

2025-08-29

发明(设计)人：

杨杰

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

G01R31/265

IPC分类号：

G01R29/24

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-29	授权	授权

共 50 条

[1]

电荷位置确定方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

杨杰 .

中国专利 :CN115356612A ,2022-11-18

[2]

晶圆台寿命确定方法、电子设备和存储介质 [P].

夏霜 ;

韩超 ;

蔡孟勳 .

中国专利 :CN116593195B ,2025-09-05

[3]

功能验证方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

赵北游 .

中国专利 :CN115470738A ,2022-12-13

[4]

缺陷检测方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

高旭 .

中国专利 :CN116168009B ,2025-10-03

[5]

派工方法及系统、装置、电子设备和存储介质 [P].

王晓 .

中国专利 :CN118036910A ,2024-05-14

[6]

气体流量控制方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

陈三城 ;

邱世清 ;

杨抗 .

中国专利 :CN115621164A ,2023-01-17

[7]

芯片的仿真方法及装置、系统、电子设备和存储介质 [P].

徐帆 .

中国专利 :CN117556763A ,2024-02-13

[8]

套刻误差补偿方法、系统及装置、电子设备和存储介质 [P].

孙彪 .

中国专利 :CN114518698A ,2022-05-20

[9]

套刻误差补偿方法、系统及装置、电子设备和存储介质 [P].

孙彪 .

中国专利 :CN114518698B ,2024-11-15

[10]

参数动态控制方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

刘文奇 .

中国专利 :CN113126485A ,2021-07-16

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