光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480008624.2

申请日：

2004-03-10

公开(公告)号：

CN1768303A

公开(公告)日：

2006-05-03

发明(设计)人：

J·N·艾尔贝克

申请人：

申请人地址：

美国新泽西

IPC主分类号：

G03F7023

IPC分类号：

G03F7022

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

刘明海

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101315921972 IPC(主分类):G03F 7/023 专利申请号:2004800086242 公开日:20060503
2006-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物 [P].

J·N·艾尔贝克 .

中国专利 :CN1768302A ,2006-05-03

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071266A ,2007-11-14

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071267B ,2007-11-14

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金升起 ;

边滋勋 ;

金炳郁 ;

金东敏 ;

李原荣 ;

诸葛银 ;

朴柱京 ;

朱相一 ;

咸先美 ;

李斗渊 ;

朴一圭 ;

郑起和 ;

金京浩 ;

洪宇成 .

中国专利 :CN102566270A ,2012-07-11

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

姜勋 ;

李承昱 ;

全雨植 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN1721989B ,2006-01-18

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071268A ,2007-11-14

[7]

正型光致抗蚀剂组合物 [P].

森尾公隆 ;

加藤哲也 .

中国专利 :CN1603955A ,2005-04-06

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

杉原昌子 ;

西村崇 ;

坂本宏 .

中国专利 :CN106918990A ,2017-07-04

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102023483A ,2011-04-20

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

桥本和彦 ;

夏政焕 .

中国专利 :CN102053495A ,2011-05-11

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