光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710096933.5

申请日：

2007-04-19

公开(公告)号：

CN101071266A

公开(公告)日：

2007-11-14

发明(设计)人：

金东敏金柄郁朴大然金周赫崔基植金贞元李起范卞哲基金纹秀金炳厚边滋勋申在浩

申请人：

申请人地址：

韩国仁川市

IPC主分类号：

G03F7016

IPC分类号：

G03F7004

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司

代理人：

朱梅;徐志明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-11-14	公开	公开
2009-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-01-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101262712660 IPC(主分类):G03F 7/016 专利申请号:2007100969335 公开日:20071114

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071267B ,2007-11-14

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071268A ,2007-11-14

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金柄郁 ;

俞载元 ;

郭恩珍 ;

金云龙 .

中国专利 :CN101727000A ,2010-06-09

[4]

正型光致抗蚀剂组合物 [P].

鹿毛孝和 ;

今泉规史 .

中国专利 :CN103210349B ,2013-07-17

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金升起 ;

边滋勋 ;

金炳郁 ;

金东敏 ;

李原荣 ;

诸葛银 ;

朴柱京 ;

朱相一 ;

咸先美 ;

李斗渊 ;

朴一圭 ;

郑起和 ;

金京浩 ;

洪宇成 .

中国专利 :CN102566270A ,2012-07-11

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

姜勋 ;

李承昱 ;

全雨植 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN1721989B ,2006-01-18

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

J·N·艾尔贝克 .

中国专利 :CN1768303A ,2006-05-03

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

J·N·艾尔贝克 .

中国专利 :CN1768302A ,2006-05-03

[9]

光致抗蚀剂用树脂组合物 [P].

今村裕治 .

中国专利 :CN103329042B ,2013-09-25

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

M·派德马纳班 ;

S·查克拉帕尼 .

中国专利 :CN101606102A ,2009-12-16

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