微机械多轴加速度传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780048385.7

申请日：

2007-11-14

公开(公告)号：

CN101568840B

公开(公告)日：

2009-10-28

发明(设计)人：

J·克拉森 A·弗兰克 D·舒伯特 K·克尔 R·赖兴巴赫

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01P1518

IPC分类号：

G01P15125

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-10-28	公开	公开
2010-03-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-10-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 15/18 申请日:20071114 授权公告日:20130102 终止日期:20201114
2013-01-02	授权	授权

共 50 条

[1]

微机械加速度传感器 [P].

G-N-C·乌尔希里 ;

L·特布耶 .

中国专利 :CN105182002A ,2015-12-23

[2]

微机械加速度传感器 [P].

G·N·C·乌尔希里 ;

B·P·赫措根拉特 .

中国专利 :CN106405153A ,2017-02-15

[3]

脉冲微机械加速度传感器 [P].

王晨 ;

白剑 ;

吴阳阳 .

中国专利 :CN204479609U ,2015-07-15

[4]

用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器 [P].

T·莱托南 ;

R·穆鲁贾尔维 ;

T·萨洛 ;

J·苏劳 .

中国专利 :CN101278200A ,2008-10-01

[5]

微机械加速度传感器加工方法 [P].

张淑芬 .

中国专利 :CN106556719A ,2017-04-05

[6]

光栅组微机械加速度传感器 [P].

王晨 ;

白剑 ;

罗宇杰 .

中国专利 :CN204479607U ,2015-07-15

[7]

组合光栅微机械加速度传感器 [P].

王晨 ;

白剑 ;

黄潇 .

中国专利 :CN204479608U ,2015-07-15

[8]

微机械z加速度传感器 [P].

A·皮格勒尼耶 ;

D·古格尔 ;

G-N-C·乌尔希里 ;

M·林克-莱斯卡纳 ;

S·京特 ;

T·赫尔 .

中国专利 :CN107976557B ,2018-05-01

[9]

脉冲微机械加速度传感器及其测量加速度的方法 [P].

王晨 ;

白剑 ;

吴阳阳 .

中国专利 :CN104614550B ,2015-05-13

[10]

一种微机械加速度传感器 [P].

徐明龙 ;

刘江辽 .

中国专利 :CN202421210U ,2012-09-05

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