微机械加速度传感器加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611043136.6

申请日：

2016-11-24

公开(公告)号：

CN106556719A

公开(公告)日：

2017-04-05

发明(设计)人：

张淑芬

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区沣惠南路36号橡树街区1座1单元4层10406室

IPC主分类号：

G01P15125

IPC分类号：

G01P1508

代理机构：

西安亿诺专利代理有限公司 61220

代理人：

康凯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-05	公开	公开
2020-06-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01P 15/125 申请公布日:20170405

共 50 条

[1]

微机械加速度传感器 [P].

G-N-C·乌尔希里 ;

L·特布耶 .

中国专利 :CN105182002A ,2015-12-23

[2]

微机械加速度传感器 [P].

G·N·C·乌尔希里 ;

B·P·赫措根拉特 .

中国专利 :CN106405153A ,2017-02-15

[3]

脉冲微机械加速度传感器 [P].

王晨 ;

白剑 ;

吴阳阳 .

中国专利 :CN204479609U ,2015-07-15

[4]

用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器 [P].

T·莱托南 ;

R·穆鲁贾尔维 ;

T·萨洛 ;

J·苏劳 .

中国专利 :CN101278200A ,2008-10-01

[5]

光栅组微机械加速度传感器 [P].

王晨 ;

白剑 ;

罗宇杰 .

中国专利 :CN204479607U ,2015-07-15

[6]

微机械多轴加速度传感器 [P].

J·克拉森 ;

A·弗兰克 ;

D·舒伯特 ;

K·克尔 ;

R·赖兴巴赫 .

中国专利 :CN101568840B ,2009-10-28

[7]

组合光栅微机械加速度传感器 [P].

王晨 ;

白剑 ;

黄潇 .

中国专利 :CN204479608U ,2015-07-15

[8]

脉冲微机械加速度传感器及其测量加速度的方法 [P].

王晨 ;

白剑 ;

吴阳阳 .

中国专利 :CN104614550B ,2015-05-13

[9]

微机械z加速度传感器 [P].

A·皮格勒尼耶 ;

D·古格尔 ;

G-N-C·乌尔希里 ;

M·林克-莱斯卡纳 ;

S·京特 ;

T·赫尔 .

中国专利 :CN107976557B ,2018-05-01

[10]

光栅组微机械加速度传感器及其测量加速度的方法 [P].

王晨 ;

白剑 ;

罗宇杰 .

中国专利 :CN104569489B ,2015-04-29

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