一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720288379.X

申请日：

2017-03-23

公开(公告)号：

CN206558484U

公开(公告)日：

2017-10-13

发明(设计)人：

沈波涛杨健党纪东

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

陆金星

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更后:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更事项:地址变更前:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更后:215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更事项:专利权人变更前:盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司变更后:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
2017-10-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种扩散炉管和扩散炉 [P].

樊建江 ;

赵赞良 ;

王武林 ;

史晨燕 ;

韩晓辉 ;

王茹 .

中国专利 :CN217351624U ,2022-09-02

[2]

一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN117832133A ,2024-04-05

[3]

一种扩散炉及扩散炉系统 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN222581101U ,2025-03-07

[4]

一种用于扩散炉的加热装置 [P].

肖亮 .

中国专利 :CN213279582U ,2021-05-25

[5]

一种用于扩散炉的加热装置 [P].

王作义 ;

朱莉 ;

高万智 ;

何立新 ;

陈家胜 ;

毛明兴 .

中国专利 :CN218179680U ,2022-12-30

[6]

扩散炉进气结构及扩散炉 [P].

梁笑 ;

毛文龙 ;

祁文杰 ;

翟俊 ;

高晓畅 .

中国专利 :CN217869195U ,2022-11-22

[7]

扩散炉炉口的密封装置及扩散炉 [P].

王道 .

中国专利 :CN220977229U ,2024-05-17

[8]

扩散炉及扩散系统 [P].

舒大帅 .

中国专利 :CN218321749U ,2023-01-17

[9]

扩散炉尾气处理系统及扩散炉 [P].

吴晓鹏 ;

彭致远 ;

卢俊峰 .

中国专利 :CN222578960U ,2025-03-07

[10]

用于高温扩散炉的石英舟叉装置 [P].

陈锦健 .

中国专利 :CN202282377U ,2012-06-20

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