一种扩散炉及扩散炉系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420229019.2
申请日
2024-01-31
公开(公告)号
CN222581101U
公开(公告)日
2025-03-07
发明(设计)人
邹凯 田栋东 李长营 莫磊 张国宏 刘浩浩 张德林 陈亮亮
申请人
甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
申请人地址
736100 甘肃省酒泉市瓜州县北大桥现代高载能产业园
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/223 H10F71/00
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
宋家会
法律状态
授权
国省代码
甘肃省 酒泉市
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共 50 条
[1]
一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法 [P]. 
邹凯 ;
田栋东 ;
李长营 ;
莫磊 ;
张国宏 ;
刘浩浩 ;
张德林 ;
陈亮亮 .
中国专利 :CN117832133A ,2024-04-05
[2]
扩散炉及扩散系统 [P]. 
舒大帅 .
中国专利 :CN218321749U ,2023-01-17
[3]
扩散炉进气结构及扩散炉 [P]. 
梁笑 ;
毛文龙 ;
祁文杰 ;
翟俊 ;
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扩散炉尾气处理系统及扩散炉 [P]. 
吴晓鹏 ;
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[5]
一种扩散炉管和扩散炉 [P]. 
樊建江 ;
赵赞良 ;
王武林 ;
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[6]
一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统 [P]. 
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[7]
一种扩散炉 [P]. 
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[8]
一种扩散炉 [P]. 
王福强 ;
李邦勇 ;
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倪升辉 ;
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[9]
扩散炉 [P]. 
张玉 ;
胡俊龙 ;
丁志强 ;
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[10]
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刘良玉 ;
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曹立雄 ;
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