一种晶圆片及用于该晶圆片的抛光机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120549702.0

申请日：

2021-03-17

公开(公告)号：

CN214685872U

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

祝斌武卫刘建伟刘园刘姣龙裴坤羽杨春雪由佰玲孙晨光王彦君常雪岩谢艳袁祥龙张宏杰刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4106 H01L21304

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片抛光垫 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214923290U ,2021-11-30

[2]

晶圆抛光机构 [P].

范镜 ;

袁碧华 ;

张得意 ;

张彥志 ;

贺超 ;

卢伟阳 .

中国专利 :CN216781409U ,2022-06-21

[3]

晶圆片铲片机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210040154U ,2020-02-07

[4]

晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN212947867U ,2021-04-13

[5]

晶圆片收纳机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210391967U ,2020-04-24

[6]

晶圆片固定机构 [P].

范宏光 ;

黄国洲 ;

李志中 .

中国专利 :CN2306570Y ,1999-02-03

[7]

晶圆片整形机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210223994U ,2020-03-31

[8]

晶圆片研磨抛光装置 [P].

周明明 ;

黄鑫星 .

中国专利 :CN220312990U ,2024-01-09

[9]

一种晶圆导片机构及应用该晶圆导片机构的湿法设备 [P].

邓信甫 ;

庄海云 ;

陈佳炜 .

中国专利 :CN111081616B ,2020-04-28

[10]

一种晶圆片抛光夹具 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN215357930U ,2021-12-31

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