晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021587613.7

申请日：

2020-08-03

公开(公告)号：

CN212947867U

公开(公告)日：

2021-04-13

发明(设计)人：

李继忠李述周朱春

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州经济开发区环城北路北侧、红旗路东侧

IPC主分类号：

B25J1506

IPC分类号：

代理机构：

常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401

代理人：

张岳

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆吸附机械手与晶圆吸附装置 [P].

罗顺松 ;

陈旋宇 ;

王怀超 .

中国专利 :CN217009167U ,2022-07-19

[2]

一种晶圆片物料盒及拾取晶圆片的机械手 [P].

韩志刚 .

中国专利 :CN214494848U ,2021-10-26

[3]

晶圆机械手以及晶圆输送设备 [P].

黎佐兴 ;

杨福满 ;

杨洪生 ;

朱新华 ;

张晓军 .

中国专利 :CN223167471U ,2025-07-29

[4]

晶圆片铲片机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210040154U ,2020-02-07

[5]

晶圆机械手 [P].

李曾元 ;

朱桐桐 ;

周飞 ;

仰庶 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN119890105A ,2025-04-25

[6]

晶圆夹持机械手 [P].

刘洋 ;

古市昌稔 ;

曲泉铀 .

中国专利 :CN215942934U ,2022-03-04

[7]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[8]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[9]

一种用于晶圆片搬运的机械手 [P].

常跃 ;

魏小东 ;

张寅虎 ;

潘雨萌 ;

杨朋飞 .

中国专利 :CN220856551U ,2024-04-26

[10]

晶圆片收纳机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210391967U ,2020-04-24

← 1 2 3 4 5 →