晶圆吸附机械手与晶圆吸附装置

被引：0

申请号：

CN202220104458.1

申请日：

2022-01-14

公开(公告)号：

CN217009167U

公开(公告)日：

2022-07-19

发明(设计)人：

罗顺松陈旋宇王怀超

申请人：

申请人地址：

402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

廖媛敏

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN212947867U ,2021-04-13

[2]

晶圆机械手 [P].

李曾元 ;

朱桐桐 ;

周飞 ;

仰庶 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN119890105A ,2025-04-25

[3]

晶圆吸附装置、晶圆吸附系统及方法 [P].

林锺吉 .

中国专利 :CN118471888A ,2024-08-09

[4]

晶圆传输装置及其真空吸附机械手 [P].

王磊 ;

曹圣豪 ;

秦羽 .

中国专利 :CN105428290A ,2016-03-23

[5]

晶圆传输装置及其真空吸附机械手 [P].

尹明清 .

中国专利 :CN113394156A ,2021-09-14

[6]

晶圆吸附装置 [P].

孙雪峰 ;

肖凌峰 ;

黎恩源 .

中国专利 :CN220672554U ,2024-03-26

[7]

晶圆吸附装置 [P].

刘庆阳 ;

吴军海 ;

严奇 ;

王闯 ;

杨堤 .

中国专利 :CN202601598U ,2012-12-12

[8]

晶圆吸附装置 [P].

汤乔银 ;

梁琦 ;

王鹏 ;

詹雯慧 ;

赵旭 ;

朱梦琴 .

中国专利 :CN217544568U ,2022-10-04

[9]

晶圆吸附装置 [P].

许志雄 .

中国专利 :CN112420586A ,2021-02-26

[10]

晶圆吸附装置 [P].

刘波 ;

姜蔚 ;

梁少敏 .

中国专利 :CN217361541U ,2022-09-02

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