共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆吸附装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220157906.0
申请日：
2012-04-13
公开(公告)号：
CN202601598U
公开(公告)日：
2012-12-12
发明(设计)人：
刘庆阳
吴军海
严奇
王闯
杨堤
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区上海市张江路18号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-05-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101593009580 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2012201579060 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号 登记生效日:20130425 |
| 2019-04-05 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20120413 授权公告日:20121212 终止日期:20180413 |
| 2012-12-12 | 授权 | 授权 |