晶圆吸附装置

被引：0

申请号：

CN202220995635.X

申请日：

2022-04-27

公开(公告)号：

CN217361541U

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

刘波姜蔚梁少敏

申请人：

申请人地址：

201620 上海市松江区思贤路3255号3幢402

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆吸附装置 [P].

孙雪峰 ;

肖凌峰 ;

黎恩源 .

中国专利 :CN220672554U ,2024-03-26

[2]

晶圆吸附装置 [P].

刘庆阳 ;

吴军海 ;

严奇 ;

王闯 ;

杨堤 .

中国专利 :CN202601598U ,2012-12-12

[3]

晶圆吸附装置 [P].

曾凡贵 .

中国专利 :CN220984504U ,2024-05-17

[4]

晶圆吸附装置 [P].

许志雄 .

中国专利 :CN213635940U ,2021-07-06

[5]

晶圆吸附装置 [P].

吴国明 ;

王彭 .

中国专利 :CN216288362U ,2022-04-12

[6]

晶圆吸附装置 [P].

周阳 ;

刘普然 ;

杨轩毅 .

中国专利 :CN218471923U ,2023-02-10

[7]

晶圆吸附装置 [P].

李雨朋 ;

李治锴 ;

蒋发昌 .

中国专利 :CN222939905U ,2025-06-03

[8]

晶圆吸附装置 [P].

王光 ;

蒋文军 ;

严翔 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222546329U ,2025-02-28

[9]

玻璃晶圆的吸附装置 [P].

雅各布·基布斯加德 ;

彼得·克罗内·尼尔森 ;

西蒙·博·延森 ;

米加·索博尔 ;

唐嘉乐 ;

托马斯·艾博 .

中国专利 :CN211350609U ,2020-08-25

[10]

玻璃晶圆吸附装置 [P].

万峰 .

中国专利 :CN213601851U ,2021-07-02

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