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晶圆吸附装置

被引：0
申请号：
CN202222289750.8
申请日：
2022-08-29
公开(公告)号：
CN218471923U
公开(公告)日：
2023-02-10
发明(设计)人：
周阳 刘普然 杨轩毅
申请人：
申请人地址：
312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
张亚静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-02-10 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆吸附装置 [P]. 
孙雪峰 ;
肖凌峰 ;
黎恩源 .
中国专利 :CN220672554U ,2024-03-26
[2]
晶圆吸附装置 [P]. 
刘庆阳 ;
吴军海 ;
严奇 ;
王闯 ;
杨堤 .
中国专利 :CN202601598U ,2012-12-12
[3]
晶圆吸附装置 [P]. 
刘波 ;
姜蔚 ;
梁少敏 .
中国专利 :CN217361541U ,2022-09-02
[4]
晶圆吸附装置 [P]. 
曾凡贵 .
中国专利 :CN220984504U ,2024-05-17
[5]
晶圆吸附装置 [P]. 
许志雄 .
中国专利 :CN213635940U ,2021-07-06
[6]
晶圆吸附装置 [P]. 
吴国明 ;
王彭 .
中国专利 :CN216288362U ,2022-04-12
[7]
晶圆吸附装置 [P]. 
李雨朋 ;
李治锴 ;
蒋发昌 .
中国专利 :CN222939905U ,2025-06-03
[8]
晶圆吸附装置 [P]. 
王光 ;
蒋文军 ;
严翔 ;
闫晓晖 .
中国专利 :CN222546329U ,2025-02-28
[9]
玻璃晶圆吸附装置 [P]. 
万峰 .
中国专利 :CN213601851U ,2021-07-02
[10]
晶圆吸附装置 [P]. 
汤乔银 ;
梁琦 ;
王鹏 ;
詹雯慧 ;
赵旭 ;
朱梦琴 .
中国专利 :CN217544568U ,2022-10-04
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