共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆吸附装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011245805.4
申请日：
2020-11-10
公开(公告)号：
CN112420586A
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
许志雄
申请人：
申请人地址：
361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区春风路6号第三层301
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2168
H01L2167
代理机构：
厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227
代理人：
吴圳添
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20201110 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |