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晶圆机械手
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311388780.7
申请日：
2023-10-24
公开(公告)号：
CN119890105A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
李曾元
朱桐桐
周飞
仰庶
张晓燕
申请人：
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
B25J15/08
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
杜娟
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-25 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231024 |