晶圆搬运机械手

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311310874.2

申请日：

2023-10-10

公开(公告)号：

CN117410226A

公开(公告)日：

2024-01-16

发明(设计)人：

武辉军王启林何豪文林猷强辛嘉伟

申请人：

新启航半导体有限公司

申请人地址：

528527 广东省佛山市高明区荷城街道海田路88号23栋102室

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

北京京专专利代理事务所(普通合伙) 11908

代理人：

赵德新

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省佛山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20231010
2024-12-13	专利权质押登记、变更及注销	专利权质押登记IPC(主分类):H01L 21/683登记号:Y2024980052337登记日:20241128出质人:新启航半导体有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司佛山市分行发明名称:晶圆搬运机械手申请日:20231010授权公告日:20240806
2024-08-06	授权	授权
2024-01-16	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226B ,2024-08-06

[2]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[3]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[4]

新型晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271057U ,2015-04-15

[5]

一种晶圆搬运机械手 [P].

杨仕品 .

中国专利 :CN212953024U ,2021-04-13

[6]

一种晶圆搬运机械手 [P].

陈胜华 .

中国专利 :CN108356804A ,2018-08-03

[7]

一种晶圆搬运机械手 [P].

李玉慧 ;

张正中 ;

滕文聪 ;

赵越 .

中国专利 :CN223273263U ,2025-08-26

[8]

一种晶圆搬运机械手清理装置及搬运机械手 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN220474608U ,2024-02-09

[9]

一种晶圆搬运机械手 [P].

徐永亮 ;

陆兵 ;

钱伟 ;

孙磊 ;

洪飞 ;

钱大伟 .

中国专利 :CN215920479U ,2022-03-01

[10]

一种晶圆搬运机械手 [P].

张松林 .

中国专利 :CN220783915U ,2024-04-16

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