一种晶圆搬运机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122251830.X

申请日：

2021-09-17

公开(公告)号：

CN215920479U

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

徐永亮陆兵钱伟孙磊洪飞钱大伟

申请人：

申请人地址：

215699 江苏省苏州市张家港经济技术开发区杨舍镇晨丰公路1436号

IPC主分类号：

B25J1100

IPC分类号：

B25J1506 H01L21687 H01L2167

代理机构：

北京弘权知识产权代理有限公司 11363

代理人：

逯长明;许伟群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆搬运机械手及控制方法 [P].

徐永亮 ;

陆兵 ;

钱伟 ;

孙磊 ;

洪飞 ;

钱大伟 .

中国专利 :CN113664854A ,2021-11-19

[2]

一种晶圆搬运机械手及控制方法 [P].

徐永亮 ;

陆兵 ;

钱伟 ;

孙磊 ;

洪飞 ;

钱大伟 .

中国专利 :CN113664854B ,2024-11-22

[3]

一种晶圆搬运机械手 [P].

陈胜华 .

中国专利 :CN108356804A ,2018-08-03

[4]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226A ,2024-01-16

[5]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[6]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226B ,2024-08-06

[7]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[8]

一种晶圆搬运机械手 [P].

杨仕品 .

中国专利 :CN212953024U ,2021-04-13

[9]

一种晶圆搬运机械手 [P].

李玉慧 ;

张正中 ;

滕文聪 ;

赵越 .

中国专利 :CN223273263U ,2025-08-26

[10]

一种晶圆搬运机械手 [P].

张松林 .

中国专利 :CN220783915U ,2024-04-16

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