晶圆夹持机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120731473.4

申请日：

2021-04-12

公开(公告)号：

CN215942934U

公开(公告)日：

2022-03-04

发明(设计)人：

刘洋古市昌稔曲泉铀

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层

IPC主分类号：

B25J1100

IPC分类号：

B25J1500 B65G4790

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

陶金龙;吴世华

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆夹持旋转机械手 [P].

刘洋 ;

古市昌稔 ;

曲泉铀 .

中国专利 :CN113103252A ,2021-07-13

[2]

机械夹持机械手 [P].

张爱英 .

中国专利 :CN210233077U ,2020-04-03

[3]

一种晶圆夹持机械手 [P].

高俊 ;

黄坤 ;

李伟 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN117445017A ,2024-01-26

[4]

全自动晶圆机械手 [P].

高波 .

中国专利 :CN222697218U ,2025-04-01

[5]

一种晶圆夹持机械手指 [P].

陈子秋 ;

吴伟平 ;

邹展 .

中国专利 :CN221407276U ,2024-07-23

[6]

一种晶圆搬运机械手 [P].

杨仕品 .

中国专利 :CN212953024U ,2021-04-13

[7]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[8]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[9]

一种顶压夹持机械手 [P].

黄立波 ;

于志江 ;

贾俊枫 .

中国专利 :CN223236305U ,2025-08-19

[10]

晶圆机械手 [P].

李曾元 ;

朱桐桐 ;

周飞 ;

仰庶 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN119890105A ,2025-04-25

← 1 2 3 4 5 →