一种半导体设备部件定位装置

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申请号
CN202220990550.2
申请日
2022-04-26
公开(公告)号
CN217214682U
公开(公告)日
2022-08-16
发明(设计)人
金辉 唐康 宫守创
申请人
申请人地址
241000 安徽省芜湖市长江大桥综合经济开发区高安街道泥埠路1#2号楼
IPC主分类号
H01L21683
IPC分类号
代理机构
芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107
代理人
蒋兵魁
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体设备加工专用定位装置 [P]. 
孙鸿运 .
中国专利 :CN216298619U ,2022-04-15
[2]
用于半导体设备的定位装置 [P]. 
黄任逢 ;
杨安立 ;
彭科津 .
中国专利 :CN208819837U ,2019-05-03
[3]
用于半导体设备的定位装置 [P]. 
王迪杏 ;
蒋伟 ;
王宁 ;
张阳 ;
秦文兵 ;
王金裕 ;
苗全 ;
盛路阳 ;
王伟 ;
顾育琪 .
中国专利 :CN210429745U ,2020-04-28
[4]
一种半导体设备用定位装置 [P]. 
杨健 ;
张宏伟 ;
罗洋 .
中国专利 :CN119943733A ,2025-05-06
[5]
一种半导体加工设备部件暂存装置 [P]. 
李志华 ;
林兴华 ;
丁东升 ;
吕海波 .
中国专利 :CN221176175U ,2024-06-18
[6]
晶圆承载装置和半导体设备 [P]. 
谈翀 .
中国专利 :CN223206253U ,2025-08-08
[7]
一种半导体编带定位装置 [P]. 
刘宝浪 ;
曾家禾 ;
刘绍侃 .
中国专利 :CN222373169U ,2025-01-21
[8]
定位装置及半导体设备 [P]. 
经军辉 ;
向常汉 ;
黄帅帅 ;
肖蕴章 ;
陈炳安 ;
钟国仿 .
中国专利 :CN221861612U ,2024-10-18
[9]
半导体器件定位装置以及具有其的半导体加工设备 [P]. 
周立志 .
中国专利 :CN221508145U ,2024-08-09
[10]
一种半导体设备 [P]. 
王圣平 ;
叶沛华 ;
张朝义 .
中国专利 :CN220703788U ,2024-04-02