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铝或铝合金溅射靶
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97190816.8
申请日：
1997-07-02
公开(公告)号：
CN1196759A
公开(公告)日：
1998-10-21
发明(设计)人：
福世秀秋
泽村一郎
冈部岳夫
大桥建夫
永泽俊
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所
代理人：
章鸣玉
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-10-18 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更事项:专利权人 变更前:日昿材料株式会社 变更后:日矿金属株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 |
| 2004-04-21 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:日本能源株式会社 变更后权利人:日昿材料株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 登记生效日:20040305 |
| 2011-05-25 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101092887973 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL971908168 变更事项:专利权人 变更前权利人:日矿金属株式会社 变更后权利人:吉坤日矿日石金属株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 登记生效日:20110414 |
| 2004-02-18 | 授权 | 授权 |
| 2017-04-26 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750571355 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL971908168 变更事项:专利权人 变更前:吉坤日矿日石金属株式会社 变更后:捷客斯金属株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 |
| 1999-09-29 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1998-10-21 | 公开 | 公开 |
| 2017-08-25 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101743571048 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL971908168 申请日:19970702 授权公告日:20040218 终止日期:无 |