铝合金溅射靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910619403.7

申请日：

2016-04-20

公开(公告)号：

CN110205591B

公开(公告)日：

2019-09-06

发明(设计)人：

高木胜寿

申请人：

申请人地址：

日本兵库县神户市中央区脇浜海岸通1丁目5番1号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C2100

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨文娟;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-06	公开	公开
2019-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20160420
2021-04-30	授权	授权

共 50 条

[1]

铝合金溅射靶材 [P].

高木胜寿 .

中国专利 :CN107614745A ,2018-01-19

[2]

铝合金溅射靶材 [P].

吉田慎太郎 ;

奥野博行 .

中国专利 :CN109312448A ,2019-02-05

[3]

铝或铝合金溅射靶材包装件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

郑文翔 ;

刘庆 .

中国专利 :CN201545361U ,2010-08-11

[4]

铝或铝合金溅射靶材的清洗方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

郑文翔 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101709452A ,2010-05-19

[5]

一种铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

罗俊锋 ;

王兴权 ;

熊晓东 ;

万小勇 ;

廖赞 ;

李勇军 ;

董亭义 .

中国专利 :CN105525149A ,2016-04-27

[6]

一种铝合金溅射靶材及其制备方法 [P].

何金江 ;

万小勇 ;

罗俊锋 ;

王越 ;

贾存锋 ;

贺昕 .

中国专利 :CN105296945B ,2016-02-03

[7]

Mo合金溅射靶材的制造方法以及Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 ;

上滩真史 ;

井上惠介 .

中国专利 :CN103990802B ,2014-08-20

[8]

Mo合金溅射靶材的制造方法以及Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 ;

上滩真史 ;

井上惠介 .

中国专利 :CN103173728A ,2013-06-26

[9]

铝或铝合金溅射靶 [P].

福世秀秋 ;

泽村一郎 ;

冈部岳夫 ;

大桥建夫 ;

永泽俊 .

中国专利 :CN1196759A ,1998-10-21

[10]

一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120138408A ,2025-06-13

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