Mo合金溅射靶材的制造方法以及Mo合金溅射靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410050512.9

申请日：

2014-02-13

公开(公告)号：

CN103990802B

公开(公告)日：

2014-08-20

发明(设计)人：

村田英夫上滩真史井上惠介

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B22F314

IPC分类号：

C23C1434 C22C2704

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-17	授权	授权
2014-08-20	公开	公开
2014-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586961097 IPC(主分类):B22F 3/14 专利申请号:2014100505129 申请日:20140213

共 50 条

[1]

Mo合金溅射靶材的制造方法以及Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 ;

上滩真史 ;

井上惠介 .

中国专利 :CN103173728A ,2013-06-26

[2]

层叠布线膜及其制造方法以及Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 .

中国专利 :CN108242276A ,2018-07-03

[3]

金属薄膜以及金属薄膜形成用Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 .

中国专利 :CN103993262A ,2014-08-20

[4]

溅射靶材及溅射靶材的制造方法 [P].

黑田稔显 ;

柴田宪治 ;

渡边和俊 ;

岩谷幸作 .

日本专利 :CN119731367A ,2025-03-28

[5]

溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶 [P].

松前和男 .

中国专利 :CN101631893A ,2010-01-20

[6]

铝合金溅射靶材 [P].

高木胜寿 .

中国专利 :CN107614745A ,2018-01-19

[7]

铝合金溅射靶材 [P].

吉田慎太郎 ;

奥野博行 .

中国专利 :CN109312448A ,2019-02-05

[8]

铝合金溅射靶材 [P].

高木胜寿 .

中国专利 :CN110205591B ,2019-09-06

[9]

溅射靶材的制造方法及溅射靶材 [P].

萩原淳一郎 ;

东秀一 ;

神原正三 .

中国专利 :CN102753722B ,2014-09-03

[10]

铬‑钛合金溅射靶材及其制造方法 [P].

坂巻功一 ;

福冈淳 ;

斉藤和也 .

中国专利 :CN107208259A ,2017-09-26

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