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一种钽铝合金溅射靶材的制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510367613.7
申请日：
2025-03-26
公开(公告)号：
CN120138408A
公开(公告)日：
2025-06-13
发明(设计)人：
边逸军 姚力军 张怡忠 吴东青
申请人：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址：
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
IPC主分类号：
C22C1/04
IPC分类号：
B22F3/04 B22F3/15 C23C14/34 C22C27/02
代理机构：
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人：
徐浩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-01 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C22C 1/04申请日:20250326
2025-06-13 公开 公开
共 50 条
[1]
一种钽铝合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
黄东长 .
中国专利 :CN111945121A ,2020-11-17
[2]
一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
黄东长 .
中国专利 :CN112111714A ,2020-12-22
[3]
铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
吴东青 .
中国专利 :CN108580905A ,2018-09-28
[4]
一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
马国成 .
中国专利 :CN110952064A ,2020-04-03
[5]
一种铬铝合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
曹欢欢 .
中国专利 :CN111778487A ,2020-10-16
[6]
铁钴钽合金溅射靶材的制备方法、铁钴钽合金溅射靶材及应用 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
吴东青 .
中国专利 :CN108004515A ,2018-05-08
[7]
一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
李岢 .
中国专利 :CN112030120A ,2020-12-04
[8]
一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
赵泽良 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
马国成 .
中国专利 :CN111560587A ,2020-08-21
[9]
铝合金溅射靶材 [P]. 
高木胜寿 .
中国专利 :CN107614745A ,2018-01-19
[10]
铝合金溅射靶材 [P]. 
吉田慎太郎 ;
奥野博行 .
中国专利 :CN109312448A ,2019-02-05
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