铁钴钽合金溅射靶材的制备方法、铁钴钽合金溅射靶材及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810058638.9

申请日：

2018-01-22

公开(公告)号：

CN108004515A

公开(公告)日：

2018-05-08

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽吴东青

申请人：

申请人地址：

315000 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F314

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

葛松生

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20180122
2020-12-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20180508
2018-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108580905A ,2018-09-28

[2]

一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

赵泽良 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111560587A ,2020-08-21

[3]

一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120138408A ,2025-06-13

[4]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

黄洁文 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115537740A ,2022-12-30

[5]

一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN112111714A ,2020-12-22

[6]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112030120A ,2020-12-04

[7]

一种钽铝合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN111945121A ,2020-11-17

[8]

一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN110952064A ,2020-04-03

[9]

一种高纯钴溅射靶材的制备方法、高纯钴溅射靶材及应用 [P].

王兴权 ;

李勇军 ;

罗俊锋 ;

何金江 ;

徐国进 ;

丁照崇 ;

刘丹 ;

朱孜毅 .

中国专利 :CN116288237B ,2025-09-02

[10]

大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法 [P].

耿宏安 .

中国专利 :CN105714253B ,2016-06-29

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