一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911167255.6

申请日：

2019-11-25

公开(公告)号：

CN110952064A

公开(公告)日：

2020-04-03

发明(设计)人：

姚力军潘杰边逸军王学泽马国成

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F304 B22F315 B22F100

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-03	公开	公开
2020-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20191125

共 50 条

[1]

一种铬硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111058004A ,2020-04-24

[2]

一种钽铝合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN111945121A ,2020-11-17

[3]

一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

赵泽良 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111560587A ,2020-08-21

[4]

一种铝硅合金溅射靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

邹浪 .

中国专利 :CN112899624A ,2021-06-04

[5]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112030120A ,2020-12-04

[6]

铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108580905A ,2018-09-28

[7]

一种铬铝合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

曹欢欢 .

中国专利 :CN111778487A ,2020-10-16

[8]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

黄洁文 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115537740A ,2022-12-30

[9]

一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120138408A ,2025-06-13

[10]

一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN112111719B ,2020-12-22

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