铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810058427.5

申请日：

2018-01-22

公开(公告)号：

CN108580905A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽吴东青

申请人：

申请人地址：

315000 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

B22F315

IPC分类号：

C23C1434 B22F304 G11B565 G11B5667 G11B573 G11B5851

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

葛松生

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B22F 3/15 申请公布日:20180928
2018-09-28	公开	公开
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B22F 3/15 申请日:20180122

共 50 条

[1]

铁钴钽合金溅射靶材的制备方法、铁钴钽合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108004515A ,2018-05-08

[2]

铬‑钛合金溅射靶材及其制造方法 [P].

坂巻功一 ;

福冈淳 ;

斉藤和也 .

中国专利 :CN107208259A ,2017-09-26

[3]

一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120138408A ,2025-06-13

[4]

一种钽铝合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN111945121A ,2020-11-17

[5]

一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN110952064A ,2020-04-03

[6]

溅射靶材用钨钛合金板的制备方法 [P].

丁旭 ;

白锋 ;

李文超 ;

侯军涛 ;

黄先明 ;

郭让民 .

中国专利 :CN102002605A ,2011-04-06

[7]

一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

赵泽良 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111560587A ,2020-08-21

[8]

一种钽铝合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN112111714A ,2020-12-22

[9]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112030120A ,2020-12-04

[10]

大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法 [P].

耿宏安 .

中国专利 :CN105714253B ,2016-06-29

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