溅射靶材用钨钛合金板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010575014.8

申请日：

2010-12-06

公开(公告)号：

CN102002605A

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

丁旭白锋李文超侯军涛黄先明郭让民

申请人：

申请人地址：

710201 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路15号

IPC主分类号：

C22C104

IPC分类号：

C22F102 C22F118 C23C1434

代理机构：

西安创知专利事务所 61213

代理人：

谭文琰

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101542403757 IPC(主分类):B22F 3/12 专利申请号:2010105750148 申请公布日:20110406
2011-04-06	公开	公开
2011-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101072506690 IPC(主分类):C22C 1/04 专利申请号:2010105750148 申请日:20101206

共 50 条

[1]

半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法 [P].

于洋 ;

赖亚洲 ;

庄志刚 ;

杨福民 ;

郑艾龙 ;

石涛 .

中国专利 :CN102211188B ,2011-10-12

[2]

一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法 [P].

席莎 ;

安耿 ;

李晶 ;

赵虎 .

中国专利 :CN104532201A ,2015-04-22

[3]

铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108580905A ,2018-09-28

[4]

高纯度钛粉、钨钛合金溅射靶材的制备方法及系统 [P].

陈箫箫 ;

林胜乐 ;

高利 .

中国专利 :CN113275589B ,2024-01-23

[5]

高纯度钛粉、钨钛合金溅射靶材的制备方法及系统 [P].

陈箫箫 ;

林胜乐 ;

高利 .

中国专利 :CN113275589A ,2021-08-20

[6]

一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN113025847A ,2021-06-25

[7]

钨钛合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

吴东青 .

中国专利 :CN111151763A ,2020-05-15

[8]

一种钼钛合金溅射靶材及其制备方法 [P].

方宏 ;

李帅方 ;

陈亚光 ;

张雪凤 ;

宋旭光 ;

刘翠云 .

中国专利 :CN118241068A ,2024-06-25

[9]

一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法 [P].

曲选辉 ;

李星宇 ;

章林 ;

熊宁 ;

刘国辉 ;

秦明礼 ;

陈刚 ;

张百成 ;

王广达 ;

魏子晨 ;

阙忠游 ;

杨军军 .

中国专利 :CN114619038A ,2022-06-14

[10]

铬‑钛合金溅射靶材及其制造方法 [P].

坂巻功一 ;

福冈淳 ;

斉藤和也 .

中国专利 :CN107208259A ,2017-09-26

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