一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法

被引:0
申请号
CN202210114912.6
申请日
2022-01-31
公开(公告)号
CN114619038A
公开(公告)日
2022-06-14
发明(设计)人
曲选辉 李星宇 章林 熊宁 刘国辉 秦明礼 陈刚 张百成 王广达 魏子晨 阙忠游 杨军军
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区学院路30号
IPC主分类号
B22F922
IPC分类号
B22F314 B22F324 C23G110 C01G4100 C23C1434 B22F112 C22C2704 C22C105
代理机构
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401
代理人
岳野
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
钨钛合金靶材的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
罗明浩 ;
吴东青 .
中国专利 :CN111151763A ,2020-05-15
[2]
一种钨钛合金靶材的制备方法 [P]. 
程少磊 ;
马国成 ;
欧海玲 ;
庄成康 ;
徐铸 ;
童培云 .
中国专利 :CN114309609A ,2022-04-12
[3]
钨钛合金靶坯及靶材的制造方法 [P]. 
姚力军 ;
相原俊夫 ;
大岩一彦 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
宋佳 .
中国专利 :CN102400004B ,2012-04-04
[4]
溅射靶材用钨钛合金板的制备方法 [P]. 
丁旭 ;
白锋 ;
李文超 ;
侯军涛 ;
黄先明 ;
郭让民 .
中国专利 :CN102002605A ,2011-04-06
[5]
半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法 [P]. 
于洋 ;
赖亚洲 ;
庄志刚 ;
杨福民 ;
郑艾龙 ;
石涛 .
中国专利 :CN102211188B ,2011-10-12
[6]
一种钨钛合金靶材的制备方法及应用 [P]. 
许彦亭 ;
闻明 ;
赵琪 ;
沈月 ;
王传军 ;
施晨琦 ;
陈静洪 ;
李治东 .
中国专利 :CN119144924A ,2024-12-17
[7]
一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法 [P]. 
王广达 ;
姚惠龙 ;
刘国辉 ;
刘桂荣 ;
熊宁 ;
弓艳飞 .
中国专利 :CN106319463A ,2017-01-11
[8]
一种钨钛合金的制备方法 [P]. 
徐礼庆 ;
沈娟 ;
周廉 ;
王华明 ;
汤慧萍 .
中国专利 :CN119332129A ,2025-01-21
[9]
钨钛合金靶材、背板及钨钛合金靶材组件 [P]. 
姚力军 ;
相原俊夫 ;
大岩一彦 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
张亚光 .
中国专利 :CN104711526A ,2015-06-17
[10]
一种钨钛合金靶材及其制备方法、应用 [P]. 
蔡新志 ;
童培云 ;
朱刘 ;
曾成亮 .
中国专利 :CN113579233A ,2021-11-02