半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110149666.X

申请日：

2011-06-03

公开(公告)号：

CN102211188B

公开(公告)日：

2011-10-12

发明(设计)人：

于洋赖亚洲庄志刚杨福民郑艾龙石涛

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市集美北部工业区连胜路339号

IPC主分类号：

B22F314

IPC分类号：

C23C1434 C23C1414

代理机构：

厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204

代理人：

张松亭;连耀忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-12	公开	公开
2013-01-09	授权	授权
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101143712447 IPC(主分类):B22F 3/14 专利申请号:201110149666X 申请日:20110603

共 50 条

[1]

溅射靶材用钨钛合金板的制备方法 [P].

丁旭 ;

白锋 ;

李文超 ;

侯军涛 ;

黄先明 ;

郭让民 .

中国专利 :CN102002605A ,2011-04-06

[2]

钨钛合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

吴东青 .

中国专利 :CN111151763A ,2020-05-15

[3]

铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108580905A ,2018-09-28

[4]

钨钛合金靶坯及靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

宋佳 .

中国专利 :CN102400004B ,2012-04-04

[5]

一种钼钛合金溅射靶材及其制备方法 [P].

方宏 ;

李帅方 ;

陈亚光 ;

张雪凤 ;

宋旭光 ;

刘翠云 .

中国专利 :CN118241068A ,2024-06-25

[6]

一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法 [P].

曲选辉 ;

李星宇 ;

章林 ;

熊宁 ;

刘国辉 ;

秦明礼 ;

陈刚 ;

张百成 ;

王广达 ;

魏子晨 ;

阙忠游 ;

杨军军 .

中国专利 :CN114619038A ,2022-06-14

[7]

高纯度钛粉、钨钛合金溅射靶材的制备方法及系统 [P].

陈箫箫 ;

林胜乐 ;

高利 .

中国专利 :CN113275589B ,2024-01-23

[8]

高纯度钛粉、钨钛合金溅射靶材的制备方法及系统 [P].

陈箫箫 ;

林胜乐 ;

高利 .

中国专利 :CN113275589A ,2021-08-20

[9]

钨钛合金靶材、背板及钨钛合金靶材组件 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

张亚光 .

中国专利 :CN104711526A ,2015-06-17

[10]

一种钨钛合金靶材的制备方法 [P].

程少磊 ;

马国成 ;

欧海玲 ;

庄成康 ;

徐铸 ;

童培云 .

中国专利 :CN114309609A ,2022-04-12

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