一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410837219.7

申请日：

2014-12-29

公开(公告)号：

CN104532201A

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

席莎安耿李晶赵虎

申请人：

申请人地址：

710077 陕西省西安市高新区锦业一路88号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

B22F316

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

罗笛

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-15	授权	授权
2015-04-22	公开	公开
2015-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609907650 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2014108372197 申请日:20141229

共 50 条

[1]

一种钼钛合金溅射靶材及其制备方法 [P].

方宏 ;

李帅方 ;

陈亚光 ;

张雪凤 ;

宋旭光 ;

刘翠云 .

中国专利 :CN118241068A ,2024-06-25

[2]

一种制备钼钛合金溅射靶材的方法 [P].

周伟 ;

李倩 ;

辛社伟 ;

李磊 ;

陈军 ;

张思远 .

中国专利 :CN108374152A ,2018-08-07

[3]

溅射靶材用钨钛合金板的制备方法 [P].

丁旭 ;

白锋 ;

李文超 ;

侯军涛 ;

黄先明 ;

郭让民 .

中国专利 :CN102002605A ,2011-04-06

[4]

铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108580905A ,2018-09-28

[5]

一种钼合金溅射靶材的制备工艺 [P].

张雪凤 ;

李帅方 ;

方宏 ;

陈亚光 ;

宁来元 ;

郭雅俊 .

中国专利 :CN114293160A ,2022-04-08

[6]

一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法 [P].

孙虎民 ;

赵文普 ;

陈亚光 ;

高建杰 .

中国专利 :CN105568236B ,2016-05-11

[7]

一种钼铌合金溅射靶材的制备方法 [P].

党晓明 ;

安耿 ;

李晶 ;

席莎 ;

赵虎 ;

刘仁智 .

中国专利 :CN105441884B ,2016-03-30

[8]

一种钼钨合金溅射靶材的制备方法 [P].

方宏 ;

孙虎民 ;

张雪凤 .

中国专利 :CN111254396A ,2020-06-09

[9]

一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN113463042A ,2021-10-01

[10]

钼合金溅射靶材及其制备方法 [P].

王广达 ;

季鹏飞 ;

张丹华 ;

牛曼 ;

王凤权 ;

常洋 .

中国专利 :CN118048546A ,2024-05-17

← 1 2 3 4 5 →