一种单晶硅片研磨机的研磨盘

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专利类型
实用新型
申请号
CN201020241961.9
申请日
2010-06-28
公开(公告)号
CN201998067U
公开(公告)日
2011-10-05
发明(设计)人
杨锐
申请人
申请人地址
714009 陕西省渭南市临渭区渭北产业园
IPC主分类号
B24D700
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅片研磨机的研磨盘 [P]. 
陈锋 ;
沈国君 ;
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赖锦香 .
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[2]
一种用于研磨单晶硅片的研磨机 [P]. 
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[3]
一种单晶硅片研磨机 [P]. 
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[4]
一种单晶硅片用研磨机 [P]. 
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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