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一种单晶硅片研磨机的研磨盘
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202120138439.6
申请日
:
2021-01-19
公开(公告)号
:
CN215281454U
公开(公告)日
:
2021-12-24
发明(设计)人
:
陈锋
沈国君
陆勇
赖锦香
申请人
:
申请人地址
:
324300 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号
IPC主分类号
:
B24B3708
IPC分类号
:
B24B4712
B24B41047
代理机构
:
温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390
代理人
:
钱磊
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-24
授权
授权
共 50 条
[1]
一种单晶硅片研磨机的研磨盘
[P].
杨锐
论文数:
0
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0
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杨锐
.
中国专利
:CN201998067U
,2011-10-05
[2]
一种用于研磨单晶硅片的研磨机
[P].
王全文
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王全文
;
杨蛟
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杨蛟
;
李鹭
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李鹭
.
中国专利
:CN207930492U
,2018-10-02
[3]
一种单晶硅片研磨机
[P].
周磊
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机构:
艾庞半导体科技(四川)有限公司
艾庞半导体科技(四川)有限公司
周磊
;
段琳琳
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机构:
艾庞半导体科技(四川)有限公司
艾庞半导体科技(四川)有限公司
段琳琳
.
中国专利
:CN222831538U
,2025-05-06
[4]
一种单晶硅片用研磨机
[P].
李鹭赵
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李鹭赵
;
富军
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富军
;
傅昭林
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傅昭林
.
中国专利
:CN210255677U
,2020-04-07
[5]
一种单晶硅片截面打磨用研磨机
[P].
朱黎
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朱黎
.
中国专利
:CN218194509U
,2023-01-03
[6]
一种研磨机用研磨盘
[P].
姚文章
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姚文章
.
中国专利
:CN210360842U
,2020-04-21
[7]
纸浆研磨机的研磨盘
[P].
解敬伟
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解敬伟
;
张晓玉
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张晓玉
.
中国专利
:CN210916790U
,2020-07-03
[8]
平面研磨机的研磨盘
[P].
廖建勇
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廖建勇
;
廖成勇
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廖成勇
;
张海鹰
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张海鹰
;
曾伟
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曾伟
.
中国专利
:CN201380431Y
,2010-01-13
[9]
研磨机研磨盘组件
[P].
刘德林
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刘德林
;
曾化平
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曾化平
.
中国专利
:CN202491165U
,2012-10-17
[10]
立式研磨机研磨盘
[P].
韩郑雷
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韩郑雷
.
中国专利
:CN201483354U
,2010-05-26
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