用于工艺盒的装载和卸载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180064756.7

申请日：

2011-11-11

公开(公告)号：

CN103283012A

公开(公告)日：

2013-09-04

发明(设计)人：

M.希尔普 A.齐茨曼 J.齐默曼

申请人：

申请人地址：

德国雷根斯堡

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

梁冰;杨国治

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101527524671 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2011800647567 申请日:20111111
2013-09-04	公开	公开
2016-05-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101733004271 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2011800647567 申请公布日:20130904

共 50 条

[1]

用于货物的装载和卸载的装置 [P].

文卡塔斯·普拉萨德·班加罗尔·斯里尼瓦斯 ;

文卡特·拉朱·钦塔拉帕利·帕塔 ;

萨瓦加特·库马尔 ;

拉杰什·辛哈 .

中国专利 :CN111017453B ,2020-04-17

[2]

用于装载和卸载的自动化系统和设备 [P].

R·M·卢卡 .

中国专利 :CN115485643A ,2022-12-16

[3]

自主货车装载机和卸载机 [P].

乔舒亚·迈克勒姆 ;

托马斯·S·西蒙 ;

迈克尔·格特曼 .

中国专利 :CN106458479A ,2017-02-22

[4]

自动卸载和装载机器人系统 [P].

W.A.巴斯蒂安二世 ;

A.M.罗伯茨 ;

C.A.劳伦斯 ;

E.A.奥斯凯 ;

J.M.赫英 .

中国专利 :CN110382382A ,2019-10-25

[5]

具有装载/卸载组的处理装置和外延反应器 [P].

西尔维奥·佩雷蒂 ;

弗朗西斯科·科里亚 .

中国专利 :CN114450781A ,2022-05-06

[6]

用于外延反应器的晶片装载和卸载系统以及外延反应器 [P].

M·G·梅斯奇亚 ;

F·科里亚 ;

S·波利 ;

S·R·M·普雷蒂 .

:CN119419149A ,2025-02-11

[7]

用于操作循环生产机械与装载或卸载机械协同工作的改进方法和系统 [P].

S·博斯加 .

中国专利 :CN101454733A ,2009-06-10

[8]

用于液相色谱的用于机器人装载和卸载样品管理器的接口模块 [P].

J·穆萨基奥 ;

S·凯利 .

中国专利 :CN114174822A ,2022-03-11

[9]

用于容纳玩具机器人的装载盒 [P].

罗伯特·H·米姆利奇三世 ;

戴维·A·诺曼 ;

道格拉斯·加莱蒂 ;

乔尔·卡特 ;

格雷戈里·尼德尔 ;

格雷戈里·拉文德 ;

克里斯托弗·特罗亚克 ;

杰弗里·韦埃格林 ;

布赖恩·德莱尼 .

中国专利 :CN302335812S ,2013-03-06

[10]

基板的卸载装置及卸载方法 [P].

边圣埈 ;

安钟范 ;

崔成奎 .

中国专利 :CN1166543C ,2000-06-21

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