化学机械研磨方法及化学机械研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310737786.0

申请日：

2013-12-27

公开(公告)号：

CN104742008B

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

张芳余

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B53017

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-22	授权	授权
2015-07-01	公开	公开
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618651383 IPC(主分类):B24B 37/10 专利申请号:2013107377860 申请日:20131227

共 50 条

[1]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

[2]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN114762952A ,2022-07-19

[3]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

寺田常徳 .

中国专利 :CN105009257A ,2015-10-28

[4]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

[5]

化学机械研磨系统及化学机械研磨方法 [P].

余振华 ;

黄见翎 .

中国专利 :CN101112751A ,2008-01-30

[6]

化学机械研磨设备及化学机械研磨方法 [P].

李福洪 .

中国专利 :CN101362313B ,2009-02-11

[7]

化学机械研磨方法以及化学机械研磨装置 [P].

唐强 ;

魏红建 ;

肖德元 .

中国专利 :CN105437054B ,2016-03-30

[8]

化学机械研磨装置和化学机械研磨方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN104742007B ,2015-07-01

[9]

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

山本胜利 .

中国专利 :CN113001395A ,2021-06-22

[10]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

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