化学机械研磨设备及化学机械研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710044816.4

申请日：

2007-08-09

公开(公告)号：

CN101362313B

公开(公告)日：

2009-02-11

发明(设计)人：

李福洪

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B2900 B24B5700 B24B5702 H01L21304

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

逯长明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-02-11	公开	公开
2019-07-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20070809 授权公告日:20101110 终止日期:20180809
2010-11-10	授权	授权
2009-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

化学机械研磨方法 [P].

朱辛堃 ;

蔡腾群 ;

杨凯钧 ;

李志岳 .

中国专利 :CN100468646C ,2006-08-09

[2]

化学机械研磨方法 [P].

李松 ;

瞿治军 ;

蔡毅 ;

金新 ;

倪立华 .

中国专利 :CN117961755A ,2024-05-03

[3]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[4]

化学机械研磨设备以及化学机械研磨方法 [P].

夏金伟 ;

张中连 ;

龚小春 ;

陈滨 ;

姜北 .

中国专利 :CN102756328A ,2012-10-31

[5]

一种化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

史超 ;

赵雪峰 ;

贾海卫 .

中国专利 :CN108284383B ,2018-07-17

[6]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

[7]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

张芳余 .

中国专利 :CN104742008B ,2015-07-01

[8]

化学机械研磨方法及化学机械研磨装置 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN114762952A ,2022-07-19

[9]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

寺田常徳 .

中国专利 :CN105009257A ,2015-10-28

[10]

化学机械研磨系统及化学机械研磨方法 [P].

余振华 ;

黄见翎 .

中国专利 :CN101112751A ,2008-01-30

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