热处理装置以及具备该热处理装置的热处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380079510.6

申请日：

2013-09-10

公开(公告)号：

CN105556651B

公开(公告)日：

2016-05-04

发明(设计)人：

李炳一李永浩许官善

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20190329 变更事项:专利权人变更前权利人:泰拉半导体株式会社变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2016-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101672509359 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013800795106 申请日:20130910
2016-05-04	公开	公开
2018-09-25	授权	授权

共 50 条

[1]

热处理系统及热处理装置 [P].

崔宇镕 ;

金建昊 ;

金楠暻 .

中国专利 :CN110838455A ,2020-02-25

[2]

热处理系统及热处理装置 [P].

崔宇镕 ;

金建昊 ;

金楠暻 .

韩国专利 :CN110838455B ,2024-01-09

[3]

热处理炉以及具有该热处理炉的热处理装置 [P].

近冈秀男 .

中国专利 :CN104515384A ,2015-04-15

[4]

热处理方法、热处理炉以及热处理系统 [P].

矶村圭祐 ;

水野慎也 ;

上野纪幸 ;

小林岳人 .

中国专利 :CN104540605A ,2015-04-22

[5]

热处理方法以及热处理装置 [P].

谷村英昭 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN106340451A ,2017-01-18

[6]

热处理装置以及热处理方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102737988A ,2012-10-17

[7]

热处理装置和产品热处理系统 [P].

张代琼 ;

马文正 ;

周春燕 ;

彭栋清 ;

冀均杰 ;

张卫东 ;

何铭辉 ;

董光义 .

中国专利 :CN120210467A ,2025-06-27

[8]

热处理装置以及热处理方法 [P].

谷村英昭 ;

松尾郁 ;

布施和彦 ;

加藤慎一 .

中国专利 :CN106340474A ,2017-01-18

[9]

热处理装置、热处理系统及热处理装置的温度控制方法 [P].

村上诚志 ;

堀込正弘 ;

河西繁 .

中国专利 :CN1542927A ,2004-11-03

[10]

热处理系统 [P].

中岛硕一 ;

前田喜久男 .

中国专利 :CN100460530C ,2006-10-25

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