热处理装置、热处理系统及热处理装置的温度控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03142786.3

申请日：

2003-05-07

公开(公告)号：

CN1542927A

公开(公告)日：

2004-11-03

发明(设计)人：

村上诚志堀込正弘河西繁

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-11-03	公开	公开
2009-03-04	授权	授权
2016-06-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101667734129 IPC(主分类):H01L 21/324 专利号:ZL031427863 申请日:20030507 授权公告日:20090304 终止日期:20150507

共 50 条

[1]

热处理系统及热处理装置 [P].

崔宇镕 ;

金建昊 ;

金楠暻 .

中国专利 :CN110838455A ,2020-02-25

[2]

热处理系统及热处理装置 [P].

崔宇镕 ;

金建昊 ;

金楠暻 .

韩国专利 :CN110838455B ,2024-01-09

[3]

温度控制方法、温度控制装置、热处理装置及热处理方法 [P].

田中政仁 ;

南野郁夫 ;

高石明 .

中国专利 :CN100498622C ,2007-06-06

[4]

热处理装置、温度控制系统、热处理方法、温度控制方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN103000555A ,2013-03-27

[5]

热处理装置以及具备该热处理装置的热处理系统 [P].

李炳一 ;

李永浩 ;

许官善 .

中国专利 :CN105556651B ,2016-05-04

[6]

热处理系统及热处理方法 [P].

内田健三 ;

深尾勇人 ;

齐藤和信 ;

冈崎和也 .

中国专利 :CN103582709B ,2014-02-12

[7]

热处理系统和热处理方法 [P].

小山典昭 ;

王文凌 .

中国专利 :CN101266471B ,2008-09-17

[8]

热处理方法及热处理装置 [P].

户部龙太 ;

北泽贵宏 .

中国专利 :CN115513088A ,2022-12-23

[9]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

日本专利 :CN113574635B ,2025-01-14

[10]

热处理装置及热处理方法 [P].

山田隆泰 ;

古川雅志 .

中国专利 :CN114743895A ,2022-07-12

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