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热处理方法及热处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080020642.1
申请日：
2020-01-16
公开(公告)号：
CN113574635B
公开(公告)日：
2025-01-14
发明(设计)人：
繁桝翔伍
加藤慎一
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21/26
IPC分类号：
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
宋晓宝;向勇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-14 | 授权 | 授权 |