共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
热处理方法及热处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080020642.1
申请日：
2020-01-16
公开(公告)号：
CN113574635A
公开(公告)日：
2021-10-29
发明(设计)人：
繁桝翔伍
加藤慎一
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L2126
IPC分类号：
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
宋晓宝;向勇
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/26 申请日:20200116 |