热处理方法及热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880086977.6

申请日：

2018-10-03

公开(公告)号：

CN111656489A

公开(公告)日：

2020-09-11

发明(设计)人：

小野行雄

申请人：

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

H01L21265

IPC分类号：

H01L2126 H01L21683

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

陈甜甜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/265 申请日:20181003
2020-09-11	公开	公开

共 50 条

[1]

热处理方法及热处理装置 [P].

小野行雄 .

日本专利 :CN111656489B ,2025-01-07

[2]

热处理方法及热处理装置 [P].

上田晃頌 ;

布施和彦 .

日本专利 :CN111668135B ,2025-02-07

[3]

热处理方法及热处理装置 [P].

秋吉克一 ;

大森麻央 ;

池田真一 .

中国专利 :CN110211895A ,2019-09-06

[4]

热处理方法及热处理装置 [P].

上田晃頌 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN111668135A ,2020-09-15

[5]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

日本专利 :CN113574635B ,2025-01-14

[6]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

中国专利 :CN113574635A ,2021-10-29

[7]

热处理方法及热处理装置 [P].

河原崎光 .

中国专利 :CN109817550A ,2019-05-28

[8]

热处理方法及热处理装置 [P].

户部龙太 ;

北泽贵宏 .

中国专利 :CN115513088A ,2022-12-23

[9]

热处理方法及热处理装置 [P].

伊藤祯朗 .

日本专利 :CN111489983B ,2024-12-17

[10]

热处理方法及热处理装置 [P].

上田晃颂 ;

布施和彦 .

日本专利 :CN111799171B ,2024-08-13

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