热处理方法及热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010263737.8

申请日：

2020-04-07

公开(公告)号：

CN111799171B

公开(公告)日：

2024-08-13

发明(设计)人：

上田晃颂布施和彦

申请人：

株式会社斯库林集团

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

H01L21/324

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/225 H01L21/78

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

陈甜甜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-13	授权	授权

共 50 条

[1]

热处理方法及热处理装置 [P].

上田晃颂 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN111799171A ,2020-10-20

[2]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

日本专利 :CN113574635B ,2025-01-14

[3]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

中国专利 :CN113574635A ,2021-10-29

[4]

热处理装置及热处理方法 [P].

伊藤祯朗 .

中国专利 :CN109755158A ,2019-05-14

[5]

热处理方法及热处理装置 [P].

小野行雄 .

中国专利 :CN111656489A ,2020-09-11

[6]

热处理方法及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

近藤泰章 ;

宫胁真治 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 ;

上田晃颂 ;

河原崎光 ;

古川雅志 .

中国专利 :CN107564812B ,2018-01-09

[7]

热处理方法及热处理装置 [P].

上田晃頌 ;

布施和彦 .

日本专利 :CN111668135B ,2025-02-07

[8]

热处理方法及热处理装置 [P].

河原崎光 .

中国专利 :CN109817550A ,2019-05-28

[9]

热处理方法及热处理装置 [P].

秋吉克一 ;

大森麻央 ;

池田真一 .

中国专利 :CN110211895A ,2019-09-06

[10]

热处理方法及热处理装置 [P].

小野行雄 .

日本专利 :CN111656489B ,2025-01-07

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