热处理装置、温度控制系统、热处理方法、温度控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210335491.6

申请日：

2012-09-11

公开(公告)号：

CN103000555A

公开(公告)日：

2013-03-27

发明(设计)人：

吉井弘治山口达也王文凌斋藤孝规

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

C23C1644 C23C1646 C23C1652 C30B2516

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟;舒艳君

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-27	公开	公开
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581312076 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012103354916 申请日:20120911
2016-11-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741208243 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012103354916 申请公布日:20130327

共 50 条

[1]

温度控制方法、温度控制装置、热处理装置及热处理方法 [P].

田中政仁 ;

南野郁夫 ;

高石明 .

中国专利 :CN100498622C ,2007-06-06

[2]

温度控制方法、温度控制装置以及热处理装置 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102956524A ,2013-03-06

[3]

热处理装置、热处理系统及热处理装置的温度控制方法 [P].

村上诚志 ;

堀込正弘 ;

河西繁 .

中国专利 :CN1542927A ,2004-11-03

[4]

热处理装置和温度控制方法 [P].

小原一辉 ;

吉井弘治 ;

和田祐辉 ;

菊池仁 .

中国专利 :CN106298590B ,2017-01-04

[5]

热处理装置和温度控制方法 [P].

山口达也 ;

小原一辉 ;

菊池康晃 ;

吉井弘治 .

中国专利 :CN108305844A ,2018-07-20

[6]

热处理炉温度控制系统 [P].

兰勇 ;

刘家平 ;

张庆跃 .

中国专利 :CN206646146U ,2017-11-17

[7]

热处理控制系统及热处理控制方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102738037A ,2012-10-17

[8]

基板热处理装置及基板热处理装置的温度控制方法 [P].

金泰叶 ;

朴城范 ;

宋雄起 ;

蔡熙周 ;

崔德华 .

韩国专利 :CN118299287A ,2024-07-05

[9]

热处理炉的温度控制装置及温度控制方法 [P].

张轶 .

中国专利 :CN112481468A ,2021-03-12

[10]

热处理炉全自动温度控制系统 [P].

高荣林 .

中国专利 :CN202576515U ,2012-12-05

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