图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810153834.4

申请日：

2018-02-22

公开(公告)号：

CN108459469B

公开(公告)日：

2018-08-28

发明(设计)人：

平野祯典柳泽秀好

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

杜丽利

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20180222
2022-11-11	授权	授权
2018-08-28	公开	公开

共 50 条

[1]

图案形成方法 [P].

田中启顺 ;

渡边保 ;

渡邉聪 .

中国专利 :CN101982807B ,2011-03-02

[2]

图案形成方法 [P].

山中司 ;

川本崇司 .

中国专利 :CN110673447A ,2020-01-10

[3]

图案形成方法 [P].

荻原勤 ;

矢野俊治 ;

前田和规 ;

三井亮 ;

永田岳志 .

中国专利 :CN110895380A ,2020-03-20

[4]

图案形成方法 [P].

渡边司 ;

荻原勤 .

中国专利 :CN110515272A ,2019-11-29

[5]

图案形成方法 [P].

大国充弘 ;

久吴俊介 ;

佐佐木智幸 ;

立岩健二 ;

二河秀夫 .

中国专利 :CN1107342C ,1999-04-07

[6]

图案形成方法 [P].

渡边司 ;

荻原勤 .

中国专利 :CN110515266A ,2019-11-29

[7]

细微图案形成方法 [P].

高次元 ;

玄润锡 .

中国专利 :CN1272831C ,2003-10-08

[8]

收缩材料和图案形成方法 [P].

熊木健太郎 ;

渡边聪 ;

土门大将 ;

畠山润 .

中国专利 :CN105676591A ,2016-06-15

[9]

收缩材料和图案形成方法 [P].

熊木健太郎 ;

渡边聪 ;

长谷川幸士 ;

土门大将 ;

山田健司 .

中国专利 :CN105676592A ,2016-06-15

[10]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1194383C ,2003-12-10

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