DLC膜的脱膜方法

被引：0

申请号：

CN202211042822.7

申请日：

2022-08-29

公开(公告)号：

CN115404487A

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

戴辉尹士平刘克武郭晨光王奎李长东

申请人：

申请人地址：

239004 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号

IPC主分类号：

C23G500

IPC分类号：

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387

代理人：

张向琨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	公开	公开
2022-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23G 5/00 申请日:20220829

共 50 条

[1]

DLC膜的脱膜方法及脱膜机 [P].

龙青松 ;

肖成云 .

中国专利 :CN111871973A ,2020-11-03

[2]

DLC膜形成方法及DLC膜 [P].

铃木雅裕 ;

齐藤利幸 ;

山川和芳 .

中国专利 :CN102803554A ,2012-11-28

[3]

DLC覆膜的成膜方法 [P].

田代裕树 ;

松冈宏之 ;

渡边元浩 ;

榊原渉 ;

野上惣一郎 .

中国专利 :CN105705678A ,2016-06-22

[4]

DLC膜、涂有DLC膜的塑料容器、其生产设备及方法 [P].

森茂树 ;

山下裕二 ;

鹿毛刚 .

中国专利 :CN1174115C ,2002-05-29

[5]

硬质涂膜的脱膜方法 [P].

羽生博之 ;

福井康雄 .

中国专利 :CN101426946B ,2009-05-06

[6]

一种柔性DLC膜的制备方法 [P].

林平波 .

中国专利 :CN120719273A ,2025-09-30

[7]

一种DLC膜层的表面处理方法 [P].

王永欣 ;

李晨 ;

郭惠霞 ;

曾志翔 ;

薛群基 .

中国专利 :CN108554745B ,2018-09-21

[8]

金属件的脱膜方法 [P].

李亮 .

中国专利 :CN107866403B ,2018-04-03

[9]

掩膜的沉积方法、掩膜及半导体器件的刻蚀方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104947085B ,2015-09-30

[10]

一种DLC膜层的制备设备 [P].

张晓岚 ;

谢丑相 ;

王国昌 ;

籍龙占 .

中国专利 :CN212505047U ,2021-02-09

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