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一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620669589.9
申请日：
2016-06-30
公开(公告)号：
CN205949436U
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
支秉旭
申请人：
申请人地址：
335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区
IPC主分类号：
B08B1102
IPC分类号：
B08B312
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 11/02 申请日:20160630 授权公告日:20170215 终止日期:20170630 |
| 2017-02-15 | 授权 | 授权 |