用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720033214.8
申请日
2017-01-11
公开(公告)号
CN206330932U
公开(公告)日
2017-07-14
发明(设计)人
汤洋 白安琪 郭逦达
申请人
申请人地址
100011 北京市东城区安外西滨河路22号神华大厦
IPC主分类号
G01N2742
IPC分类号
代理机构
北京润平知识产权代理有限公司 11283
代理人
韩冰;严政
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置 [P]. 
汤洋 ;
郭逦达 ;
白安琪 ;
陈颉 .
中国专利 :CN204570074U ,2015-08-19
[2]
用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法 [P]. 
汤洋 ;
郭逦达 ;
白安琪 ;
陈颉 .
中国专利 :CN105862112B ,2016-08-17
[3]
电化学沉积夹具 [P]. 
金俊成 .
中国专利 :CN206783798U ,2017-12-22
[4]
用于电化学沉积的夹具 [P]. 
苏彩娜 .
中国专利 :CN205474072U ,2016-08-17
[5]
电化学沉积设备组和电化学沉积方法 [P]. 
袁广才 ;
闫俊伟 ;
王成飞 ;
张国才 ;
董士豪 ;
孙少东 ;
齐琪 ;
曹占锋 .
中国专利 :CN112442725B ,2024-05-24
[6]
电化学沉积设备组和电化学沉积方法 [P]. 
袁广才 ;
闫俊伟 ;
王成飞 ;
张国才 ;
董士豪 ;
孙少东 ;
齐琪 ;
曹占锋 .
中国专利 :CN112442725A ,2021-03-05
[7]
电化学沉积设备 [P]. 
李连松 ;
闫俊伟 ;
裴光辉 ;
任泽 ;
张国才 ;
董士豪 .
中国专利 :CN119013439A ,2024-11-22
[8]
电化学沉积系统 [P]. 
阿瑟·凯格勒 ;
戴夫·瓜尔纳烚 ;
德梅特留斯·帕帕帕纳约图 ;
乔恩·汉德 ;
罗伯特·穆恩 .
中国专利 :CN112239881A ,2021-01-19
[9]
水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽 [P]. 
祁志明 ;
李松松 ;
孙永胜 ;
李程 .
中国专利 :CN214937907U ,2021-11-30
[10]
电化学沉积设备 [P]. 
李连松 ;
闫俊伟 ;
裴光辉 ;
任泽 ;
张国才 ;
董士豪 .
中国专利 :CN119013439B ,2025-10-03