一种硅片抛光机所用的陶瓷盘上载车

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020178121.6

申请日：

2020-02-17

公开(公告)号：

CN212170012U

公开(公告)日：

2020-12-18

发明(设计)人：

安爱博张晋英张碧波严政先郭会波郭旭李文磊霍立强孙晨光王彦君

申请人：

申请人地址：

214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4100

代理机构：

天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211

代理人：

耿树志

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片抛光用陶瓷盘清洁装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN220836787U ,2024-04-26

[2]

一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 [P].

张晋英 ;

安爱博 ;

张碧波 ;

严政先 ;

赵欣 ;

郭旭 ;

霍立强 ;

孙晨光 ;

王彦君 .

中国专利 :CN212683566U ,2021-03-12

[3]

一种抛光机用陶瓷盘 [P].

王永成 .

中国专利 :CN213828444U ,2021-07-30

[4]

一种陶瓷盘子生产用抛光机 [P].

冯见领 .

中国专利 :CN210307244U ,2020-04-14

[5]

一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘 [P].

刘培东 ;

张世波 .

中国专利 :CN201077033Y ,2008-06-25

[6]

一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置 [P].

吴雄杰 ;

张立安 ;

肖春柳 ;

高海军 ;

郑欢欣 ;

朱贞军 ;

许琴 ;

王伟棱 ;

余求俊 ;

饶伟星 .

中国专利 :CN215281413U ,2021-12-24

[7]

一种抛光机陶瓷盘定位结构 [P].

寇明虎 ;

刘泳沣 .

中国专利 :CN215547838U ,2022-01-18

[8]

一种抛光机陶瓷盘搬运装置 [P].

吴雄杰 ;

潘金平 ;

肖世豪 ;

沈益军 ;

饶伟星 ;

张立安 ;

肖春柳 ;

高海军 ;

郑欢欣 ;

朱贞军 .

中国专利 :CN113352222B ,2025-07-15

[9]

一种硅片抛光机 [P].

陈峰 ;

林秋标 .

中国专利 :CN218461840U ,2023-02-10

[10]

一种硅片抛光机 [P].

邵永杰 .

中国专利 :CN220445964U ,2024-02-06

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