一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720108329.5

申请日：

2007-04-19

公开(公告)号：

CN201077033Y

公开(公告)日：

2008-06-25

发明(设计)人：

刘培东张世波

申请人：

申请人地址：

310013浙江省杭州市玉古路147号浙江大学求是村黄鸿年科技综合楼720室

IPC主分类号：

B24D1314

IPC分类号：

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

张法高

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101582898348 IPC(主分类):B24D 13/14 专利号:ZL2007201083295 申请日:20070419 授权公告日:20080625 终止日期:20130419
2010-11-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101036986721 IPC(主分类):B24D 13/14 专利号:ZL2007201083295 变更事项:专利权人变更前权利人:刘培东变更后权利人:浙江东源电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:310013 浙江省杭州市玉古路147号浙江大学求是村黄鸿年科技综合楼720室变更后权利人:314200 浙江省嘉兴市平湖经济开发区平湖大道东侧繁荣路北侧3号楼2024室变更事项:共同专利权人变更前权利人:张世波变更后权利人:无登记生效日:20100917
2008-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片抛光用陶瓷盘清洁装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN220836787U ,2024-04-26

[2]

一种有蜡抛光陶瓷盘的清洗方法 [P].

孙晨光 ;

石明 ;

魏艳军 ;

垢建秋 ;

张宇 .

中国专利 :CN103639142A ,2014-03-19

[3]

一种晶片抛光用陶瓷盘及抛光装置 [P].

廖彬 ;

周铁军 ;

曾琦 ;

张昌文 .

中国专利 :CN216802999U ,2022-06-24

[4]

一种用于半导体晶片抛光的无蜡抛光模板 [P].

王永成 .

中国专利 :CN206925702U ,2018-01-26

[5]

一种陶瓷盘用抛光装置 [P].

杨盛国 ;

唐占银 ;

高赛魁 .

中国专利 :CN217255383U ,2022-08-23

[6]

一种硅片无动力自转无蜡抛光模板 [P].

顾凯峰 ;

章斌 ;

陈李刚 ;

蒋志彬 ;

毛荣昌 ;

朱国强 .

中国专利 :CN209239654U ,2019-08-13

[7]

一种硅片抛光机所用的陶瓷盘上载车 [P].

安爱博 ;

张晋英 ;

张碧波 ;

严政先 ;

郭会波 ;

郭旭 ;

李文磊 ;

霍立强 ;

孙晨光 ;

王彦君 .

中国专利 :CN212170012U ,2020-12-18

[8]

一种抛光机用陶瓷盘 [P].

王永成 .

中国专利 :CN213828444U ,2021-07-30

[9]

一种带有整体式风幕的无尘板材抛光装置 [P].

张旭鹏 .

中国专利 :CN211708855U ,2020-10-20

[10]

一种硅片有蜡抛光工艺及抛光装置 [P].

陈跃骅 ;

方萌 ;

周贤明 ;

赵纪平 ;

戴文仙 ;

刘小祥 ;

汪新平 ;

廖建军 .

中国专利 :CN119260585A ,2025-01-07

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